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億科 蠕動泵配套水蒸氣發(fā)生器流量控制精度達(dá)到1.5%,較傳統(tǒng)的轉(zhuǎn)子流量計精度(+/-5%以上)高出很多,確保混合氣體輸出濃度波動小,精度高。
億科 多通道水蒸氣發(fā)生器通過精密注射泵控制進液量,通過相變汽化模塊將液體先分散成液膜再進行換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣??梢苑€(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。相變汽化模塊不僅具有蒸發(fā)混合穩(wěn)定的特點,而且具有非常寬的蒸發(fā)范圍,應(yīng)該范圍較廣泛。
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